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分子泵機(jī)組是一臺清潔的高真空獲得設(shè)備

更新時間:2022-08-08點(diǎn)擊次數(shù):1059
  分子泵機(jī)組是一臺清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識原理,利用機(jī)械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng),具有啟動時間快、真空度高、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、泵體加熱控制、電器控制系統(tǒng)、水冷卻保護(hù)控制等。
 
  拆開包裝箱,將設(shè)備從箱體中取出,檢查設(shè)備有無損壞,將設(shè)備的電源線接好,將地線與設(shè)備機(jī)殼連接。如果是三相供電方式,初次通電時需要觀察機(jī)械泵的相序,打開總電源開關(guān),觀察分子泵機(jī)組電源的相序指示燈,如果相序指示燈亮表明機(jī)械泵相序正常;如果相序指示燈不亮表明機(jī)械泵相序不正常。關(guān)掉總電源,將三相電源線中的任意兩相對調(diào),以確保機(jī)械泵相序正確。
 
  安裝時應(yīng)注意以下幾點(diǎn):
 
  1、設(shè)備安裝應(yīng)平地上豎直方向上與垂直方向夾角小于5度。安裝后要固定腳輪。
 
  2、真空系統(tǒng)各連接部位應(yīng)密封可靠,保證無泄漏發(fā)生。
 
  3、水路系統(tǒng)接頭處應(yīng)無滴漏。
 
  4、建議把從機(jī)械泵排出的氣體引出室外。
 
  分子泵機(jī)組使用注意事項:
 
  1、應(yīng)經(jīng)常檢查各導(dǎo)線及接地線是否短路,其絕緣層是否破損漏電。
 
  2、真空腔體內(nèi)應(yīng)保持清潔,經(jīng)常清除雜物。
 
  3、裝入爐底料盤中的工件應(yīng)符合要求,不能過高過大,以免爐絲受熱變形與工件接觸造成短路現(xiàn)象。
 
  4、設(shè)備運(yùn)行時要注意保養(yǎng),定期對冷卻水系統(tǒng)進(jìn)行維護(hù),以防止水垢的大量凝結(jié),影響冷卻效果。
 
  5、工作場地應(yīng)保持衛(wèi)生整潔,以免塵土污染真空室。
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