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產(chǎn)品中心

Product Center

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品處理小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD鄭科探小型蒸鍍儀

鄭科探小型蒸鍍儀

產(chǎn)品簡介

鄭科探小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD是我公司專為科研院所及實(shí)驗(yàn)室用戶群體設(shè)計開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。機(jī)架電控一體化設(shè)計,整體布局緊湊合理,充分考慮人機(jī)工程學(xué)的傾斜操控面板和可直觀觀察蒸發(fā)狀態(tài)的玻璃真空室結(jié)構(gòu)相得益彰。蒸發(fā)源可兼容金屬、有機(jī)物蒸發(fā)。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等,特別適合太陽能電池、有機(jī)EL、LED顯示管研究與開發(fā)領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號:KT-Z1650CVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1334
詳細(xì)介紹在線留言
品牌鄭科探產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子

鄭科探小型蒸鍍儀

-熱蒸發(fā)源:電阻式熱蒸發(fā)舟,交流電源;
-
腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;
-
泵:前級干泵,分子泵;
- Load Lock
樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);
-
工藝控制:PC/PLC機(jī)制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存;

-
襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;

-       襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;

-       保護(hù)樣品:配有樣品擋板,可手動或自動開/關(guān)擋板,達(dá)到及時遮擋樣品效果;

以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖:

       image.png  

以下是不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖

637858771737832260197.png   原樣品沒有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機(jī)械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘

真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色



637844882350281266506.jpg


鄭科探小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD技術(shù)資料

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制

加熱方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機(jī)械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

1800

支持蒸發(fā)坩堝類型

鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴(kuò)展

機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa

分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa


技術(shù)支持&服務(wù):

1. 技術(shù)支持:在合同簽訂之前,我們的專業(yè)工程師會在充分了解客戶需求的前提下,為客戶做出*的選型和方案設(shè)計,使客戶充分了解并理解產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)、性能用途、使用場合、安全注意事項(xiàng)等,以幫助客戶做出正確的選擇。

2. 安裝與培訓(xùn):在產(chǎn)品使用前,我們會派專業(yè)工程師為您提供現(xiàn)場技術(shù)支持、培訓(xùn)及演示服務(wù)。

3. 產(chǎn)品質(zhì)保:我們對產(chǎn)品提供12個月的質(zhì)保期,在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生設(shè)備或配件損壞由公司負(fù)責(zé)賠償或免費(fèi)維修。(耗材和易損件除外)

4. 終身維護(hù):我們對提供的產(chǎn)品提供終身服務(wù),對于超過質(zhì)保期限的維修、維護(hù)僅收取材料費(fèi),免除一切人工費(fèi)用。



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