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產(chǎn)品中心

Product Center

真空探針臺(tái)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

真空探針臺(tái)KT-Z160TZ,高溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境,以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果誤差。

產(chǎn)品型號(hào):KT-Z160TZ
更新時(shí)間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1371
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品牌鄭科探

  真空探針臺(tái)KT-Z160TZ主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng)從功能上來(lái)區(qū)分有:溫控探針臺(tái),真空探  針臺(tái)(低溫探針臺(tái)),RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái)。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成

  高低溫真空 探針臺(tái)應(yīng)用:

  可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析,如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

  · 結(jié)構(gòu)緊湊,適用于各種變溫測(cè)試

  · -196℃~400℃(配液氮致冷模塊)

  · 氣密腔室設(shè)計(jì),可通保護(hù)氣氛

  · 4探針,手動(dòng)定位(可擴(kuò)展為6個(gè))

  · 支持改動(dòng)或定制

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真空探針臺(tái)KT-Z160TZ參數(shù)

 

 

真空腔體

 

腔體材質(zhì)

 

304不銹鋼

 

上蓋開(kāi)啟

 

鉸鏈側(cè)開(kāi)

 

加熱臺(tái)材質(zhì)

 

304不銹鋼

 

內(nèi)腔體尺寸

 

φ160x90mm

 

觀察窗尺寸

 

Φ70mm

 

加熱臺(tái)尺寸

 

φ60mm

 

觀察窗熱臺(tái)間距

 

75mm

 

加熱臺(tái)溫度

 

﹣196~400℃

 

加熱臺(tái)溫控誤差

 

±1℃

 

真空度

 

機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

 

允許正壓

 

≤0.1MPa

 

真空抽氣口

 

KF25真空法蘭

 

氣體進(jìn)氣口

 

3mm-6mm卡套接頭

 

電信號(hào)接頭

 

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

 

電學(xué)性能

 

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V

 

探針數(shù)量

 

4探針

 

探針材質(zhì)

 

鎢針  

 

探針尖

 

10μm

 

探針移動(dòng)平臺(tái)

 

X軸移動(dòng)行程

 

30mm    ±15mm

 

X軸控制精度

 

≤0.01mm

 

Y軸移動(dòng)行程

 

13mm    ±12.5mm

 

Y軸控制精度

 

≤0.01mm

 

Z軸移動(dòng)行程

 

13mm    ±12.5mm

 

Z軸控制精度

 

≤0.01mm

 

電子顯微鏡

 

顯微鏡類(lèi)別

 

物鏡

 

物鏡倍數(shù)

 

0.7-4.5倍

 

工作間距

 

90mm

 

相機(jī)

 

sony 高清

 

像素

 

1920※1080像素

 

圖像接口

 

VGA

 

LED可調(diào)光源

 

 

顯示屏

 

8寸

 

放大倍數(shù)

 

19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

 

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